锦正茂低温多维磁场探针台

北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台，采用无磁材料制成，采用亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却（磁场较小）或水冷结构（磁场较大），标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

参数概述：

可以进行真空环境中的高低温测试（10K~325K）。磁场强度在x轴上为0.75T，在Y轴上为0.75 T，在z轴上为0.4T。

磁场均匀性：中心区域60mm球体内为1%。

三种高精度直流电源：稳定性±25ppm

磁场分辨率：0.05 MT

角度分辨率：0.02°

样品固定方式：低温探头

样品台直径：20mm，可定制

显微镜：10.Y平面2*2英寸，精度2μm，Z轴行程≥30.8mm，

放大倍数：16~100x/20~4000x

探针臂数量：4个。可选择的

探针臂行程：12mm，可更换

探针臂移动精度：25μM可选

探头长度：38mm

探头直径：0.51mm

针尖直径：1μm

探头材料：钨/铍铜/GGB

泄漏精度：100fa低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜，温度均匀性较好。

温度传感器采用稳定性和重复性好的硅二极管作为温度测量装置，支持光纤光谱特性测试，与高倍率显示镜兼容，可以微调和移动，设备的高频特性（支持高达40GHz的频率），探针散热器设计，LD/LED/PD光强/波长测试、自动流量控制、材料/器件的IV/CV特性测试等。

住友415D制冷机

1.低温冰箱

2.压缩机：f50h

3.冷却方式：水冷

4.制冷功率：15W@77K ， 1W@4.2K5.*低温度：4K

低温控制器Lake shore336

技术指标：

◆ 测量范围：1.4k-500k

◆测量精度：*佳测量精度可达10mk

◆测量范围：使用合适的NTC RTD传感器，测量范围可低至300mk

◆输入通道：标配四个传感器输入通道，*多可扩展到8个，每个通道都有独立的温度曲线

◆传感器兼容性：二极管温度传感器，cernox温度传感器，铂电阻温度传感器，热电偶传感器等。