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液氮恒温器,闭循环低温恒温器,低温控温仪,实验室电磁铁,亥姆霍兹线圈,高精度磁铁电源,低温温度传感器,磁场控制平台,高温磁场退火炉,霍尔效应测试仪,高低温磁场探针台,高真空连接器,磁场测量仪器,低温温度计,矢量三维电磁铁
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探针台测试系统是怎样工作的
探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上,该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。
机械手放置在平台的平面上,并在机械手中插入探针臂和jian端。探头jian端必须适合要执行的测试程序。然后,用户通过调整相应的操纵器将探针jian端**定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触;现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆,在测试di一个器件后,可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针jian端的过程,直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成,但如果载物台和机械手是电动的,并且显微镜连接到计算机视觉系统,那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量,并减少运行多个测试所需的劳动力。
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